CVD-Diamant, polykristallin, ist ein freistehender reiner Diamantfilm, der in einem Vakuumofen durch das chemische Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) mit Gleichstromlichtbogen-Plasmastrahl erzeugt wird.
Bei subatmosphärischem Druck wird eine Mischung aus kohlenstoffhaltigem Gas (Methan) und Wasserstoff angeregt und zersetzt, um Kohlenstoffatome zu bilden, die auf dem Substrat abgelagert und abwechselnd zu polykristallinem Diamant gewachsen werden, und das Wachstum hält eine hohe Geschwindigkeit, um a zu bilden Diamantfilm. Dieses Verfahren kann auch zur Beschichtung von Werkzeugen und Werkstücken eingesetzt werden.
Eigenschaften von polykristallinem CVD-Diamant
Die physikalischen Eigenschaften von polykristallinem CVD-Diamant sind denen von natürlichem Diamant in mechanischer, thermischer und optischer Hinsicht sehr ähnlich. Infolgedessen können die CVD-Diamantfilme in kundenspezifische Abmessungen lasergeschnitten und zur Herstellung von Diamant-Abrichtwerkzeugen, Diamant-Schneidwerkzeugen, Drahtziehwerkzeugen, Kühlkörperkomponenten und optischen Fenstern verwendet werden.
Für mechanische Zwecke sind die polykristallinen CVD-Diamantrohlinge hochwertiger reiner Diamant mit gleichbleibender Verschleißfestigkeit und hoher thermischer Stabilität und Wärmeleitfähigkeit, frei von metallischen oder nichtmetallischen Bindungen.
Die Rohlinge der CVD-Diamant-Abrichtwerkzeuge sind immer in Form von rechteckigen Stämmen (Stäbchen) erhältlich, die zur Herstellung von Einzelkorn-Abrichtwerkzeugen, Mehrkorn-Abrichtwerkzeugen, Klingen-Abrichtwerkzeugen und Walzen-Abrichtwerkzeugen für Abrichtanwendungen, wie z. B. das Abrichten von Aluminiumoxid und Silizium, verwendet werden können Hartmetall-Schleifscheiben.
Die Verschleißfestigkeit unserer CVD-Abrichtwerkzeug-Rohlinge reicht von Standardqualität, hoher Qualität bis Premiumqualität, um unterschiedliche Härten der Bearbeitungsziele zu erreichen und Werkzeugherstellern zu helfen, ein hohes Preis-Leistungs-Verhältnis zu erzielen.
In der untenstehenden Tabelle sind Standardgrößen der Abrichtwerkzeug-Rohlinge aufgeführt, andere Abmessungen sind per Laserschneiden nach Zeichnung auf Anfrage erhältlich.
Breite x Dicke
Länge (L)
Codenummer
0.4 x 0.4 mm
0.4 - 5.0 mm
0404L
0.6 x 0.6 mm
0.6 - 8.0 mm
0606L
0.8 x 0.8 mm
0.8 - 10.0 mm
0808L
1.0 x 1.0 mm
1.0 - 10.0 mm
1010L
1.5 x 1.5 mm
1.5 - 10.0 mm
1515L
2.0 x 2.0 mm
2.0 - 10.0 mm
2020L
Härtevergleich zwischen polykristallinem CVD-Diamant (CVD-P) und anderen Materialien
Polykristalliner CVD-Diamant-Wärmeverteiler
Diamant hat unter den bekannten Materialien in der Natur eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, gepaart mit einer guten Isolierleistung, was CVD-Diamant zu einem idealen Material für elektronische Kühlkörper macht, die bei der Herstellung von Wärmeverteilern für Laserdioden, Hochleistungshalbleiterbauelemente, Mikrowellengeräte und hochintegrierte Schaltungen.
Die Wärmeleitfähigkeit unserer CVD-Diamant-Wärmeverteiler kann 1200 bis 2000 W/m.K erreichen, und die Wafer sind mit polierter Substratseite und geläppter Wachstumsseite erhältlich.
In der folgenden Tabelle sind die Eigenschaften und Standardgrößen von CVD-Diamant-Heatspreadern aufgeführt, andere Abmessungen sind auf Anfrage erhältlich.
Vicker-Härte
8000 - 10000 kg/mm2
Wärmeleitfähigkeit
1200 - 2000 W/m.K
Youngscher Modul
1000 - 1100 GPa
Maße
wie pro erforderlich
Dicke
300μm ±50μm
Oberflächenveredlung
Substratseite Ra<30nm, Wachstumsseite Ra<100nm
Ebenheit
<4μm/cm
Vergleich der thermischen Eigenschaften zwischen polykristallinem CVD-Diamant und anderen Materialien